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标准号：GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板
中文标准名称：光掩模石英玻璃基板 英文标准名称：Silica glass substrates for photomask 标准状态：即将实施 在线预览 中国标准分类号（CCS）Q35 国际标准分类号（ICS）81.040.30 发布日期2017-09-07 实施日期 2018-08-01 主管部门：中国建筑材料联合会 归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
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标准号：GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
中文标准名称：光掩模对准标记规范 英文标准名称：Specification for registration marks for photomasks 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）L95 国际标准分类号（ICS）31.200 发布日期1996-09-09 实施日期 1997-05-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
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标准号：GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
中文标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 英文标准名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）L97 国际标准分类号（ICS）31.020 发布日期1997-06-20 实施日期 1998-03-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
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