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标准号：GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
中文标准名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法 英文标准名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS 标准状态：即将实施 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）G04 国际标准分类号（ICS）71.040.40 发布日期2017-09-29 实施日期 2018-08-01 主管部门：国家标准化管理
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标准号：GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
中文标准名称：光掩模对准标记规范 英文标准名称：Specification for registration marks for photomasks 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）L95 国际标准分类号（ICS）31.200 发布日期1996-09-09 实施日期 1997-05-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
