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标准号：GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
中文标准名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法 英文标准名称：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.01 发布日期2005-09-19 实施日期 2006-04-01 主管部门：工业和信息化部（电子） 归口单位：工业和信息化部（电子） 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2006-04-01实施
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标准号：GB/T 328.7-2007 建筑防水卷材试验方法 第7部分：高分子防水卷材 长度、宽度、平直度和平整度
中文标准名称：建筑防水卷材试验方法 第7部分：高分子防水卷材 长度、宽度、平直度和平整度 英文标准名称：Test methods for building sheets for waterproofing - Part 7: Plastic and rubber sheets for waterproofing-length,width,straightness and flatness 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）Q17 国际标准分类号（ICS）91.120.30 发布日期2007-03-26 实施日期 2007-10-01 主管部门：中国建筑材料联合会 归口单位：全国轻质与装饰装修建筑材
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标准号：GB/T 13771-2009 纺织品 评定织物经洗涤后接缝外观平整度的试验方法
中文标准名称：纺织品 评定织物经洗涤后接缝外观平整度的试验方法 英文标准名称：Textiles - Test method for assessing the smoothness appearance of seams in fabrics after cleansing 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）W04 国际标准分类号（ICS）59.080.30 发布日期2009-09-30 实施日期 2010-03-01 主管部门：中国纺织工业联合会 归口单位：全国纺织品标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管
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标准号：GB/T 13769-2009 纺织品 评定织物经洗涤后外观平整度的试验方法
中文标准名称：纺织品 评定织物经洗涤后外观平整度的试验方法 英文标准名称：Textiles - Test method for assessing the smoothness appearance of fabrics after cleansing 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）W04 国际标准分类号（ICS）59.080.30 发布日期2009-09-30 实施日期 2010-03-01 主管部门：中国纺织工业联合会 归口单位：全国纺织品标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注
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标准号：GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
中文标准名称：硅片表面平整度测试方法 英文标准名称：Testing methods for surface flatness of silicon slices 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H80 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2010-06-01实施,代替GB/T 6621-1995
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标准号：GB/T 29507-2013 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
中文标准名称：硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 英文标准名称：Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H80 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2013-05-09 实施日期 2014-02-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2013年第6号公告
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标准号：GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法 英文标准名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H21 国际标准分类号（ICS）77.040 发布日期2015-12-10 实施日期 2017-01-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
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