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标准号：GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
中文标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 英文标准名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H83 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2014-07-24 实施日期 2015-02-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2014年第19号公告
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标准号：GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
中文标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 英文标准名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H26 国际标准分类号（ICS）77.040.99 发布日期2014-12-31 实施日期 2015-09-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
