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标准号：GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法 英文标准名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.01 发布日期2005-09-19 实施日期 2006-04-01 主管部门：中国有色金属工业协会 归口单位：全国有色金属标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2006-04-01实施
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标准号：GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
中文标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法 英文标准名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H80 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2010-06-01实施,代替GB/T 6624-1995
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标准号：GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
中文标准名称：硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 英文标准名称：Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H80 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2010-06-01实施,代替GB/T 4058-1995
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标准号：GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
中文标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 英文标准名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H26 国际标准分类号（ICS）77.040.99 发布日期2014-12-31 实施日期 2015-09-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
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