-
标准号:GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2012-05-11 实施日期 2012-12-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2012-05-11 实施日期 2012-12-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2012-05-11 实施日期 2012-12-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2012-05-11 实施日期 2012-12-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2016-08-29 实施日期 2017-03-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2016-08-29 实施日期 2017-03-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
-
标准号:GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
中文标准名称:硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 英文标准名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.200 发布日期2016-08-29 实施日期 2017-03-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注: