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标准号：GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
中文标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法 英文标准名称：Polycrystalline silicon - examination method - vacuum zone - melting on boron 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.01 发布日期2007-09-11 实施日期 2008-02-01 主管部门：中国有色金属工业协会 归口单位：中国有色金属工业协会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2008-02-01实施,代替GB/T 4060-1983
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标准号：GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
中文标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法 英文标准名称：Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.01 发布日期2007-09-11 实施日期 2008-02-01 主管部门：中国有色金属工业协会 归口单位：中国有色金属工业协会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2008-02-01实施,代替GB/T 4059-1983
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标准号：GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
中文标准名称：硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法 英文标准名称：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H80 国际标准分类号（ICS）29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2010-06-01实施,代替GB/T 4061-1983
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