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标准号:GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
中文标准名称:蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 英文标准名称:Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer 标准状态:即将实施 在线预览 中国标准分类号(CCS)H17 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2017-10-14 实施日期 2018-05-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
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标准号:GB/T 34213-2017 蓝宝石衬底用高纯氧化铝
中文标准名称:蓝宝石衬底用高纯氧化铝 英文标准名称:High purity alumina for sapphire substrate 标准状态:即将实施 在线预览 中国标准分类号(CCS)H61 国际标准分类号(ICS)77.120.10 发布日期2017-09-07 实施日期 2018-06-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
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标准号:GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法
中文标准名称:重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 英文标准名称:Test method for measuring boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry 标准状态:现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物,请联系中国标准出版社。 中国标准分类号(CCS)H80 国际标准分类号(ICS)29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督
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标准号:GB/T 24576-2009 高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
中文标准名称:高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法 英文标准名称:Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction 标准状态:现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物,请联系中国标准出版社。 中国标准分类号(CCS)H80 国际标准分类号(ICS)29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督
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标准号:GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
中文标准名称:重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 英文标准名称:Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H80 国际标准分类号(ICS)29.045 发布日期2011-01-10 实施日期 2011-10-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2011-10-01实施,代替GB/T 14847-1993
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标准号:GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
中文标准名称:蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 英文标准名称:Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2014-07-24 实施日期 2015-04-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2014年第19号公告
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标准号:GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
中文标准名称:蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 英文标准名称:Test methods for bow of sapphire substrates 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040.99 发布日期2014-12-31 实施日期 2015-09-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
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标准号:GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
中文标准名称:蓝宝石衬底片翘曲度测试方法 英文标准名称:Test methods for warp of sapphire substrates 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040.99 发布日期2014-12-31 实施日期 2015-09-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
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标准号:GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
中文标准名称:氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 英文标准名称:Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2015-12-10 实施日期 2016-11-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:
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标准号:GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
中文标准名称:氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 英文标准名称:The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2015-12-10 实施日期 2016-11-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注: