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标准号：GB/T 11073-2007 硅片径向电阻率变化的测量方法
中文标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法 英文标准名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.01 发布日期2007-09-11 实施日期 2008-02-01 主管部门：中国有色金属工业协会 归口单位：中国有色金属工业协会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2008-02-01实施,代替GB/T 11073-1989
