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标准号:GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
中文标准名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 英文标准名称:Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H80 国际标准分类号(ICS)29.045 发布日期2009-10-30 实施日期 2010-06-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2010-06-01实施,代替GB/T 14141-1993