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标准号：GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
中文标准名称：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 英文标准名称：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique 标准状态：即将实施 在线预览 中国标准分类号（CCS）H25 国际标准分类号（ICS）77.040 发布日期2017-09-29 实施日期 2018-04-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
