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标准号：GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则
中文标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则 英文标准名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）L97 国际标准分类号（ICS）31.220.10 发布日期1995-12-22 实施日期 1996-08-01 主管部门：工业和信息化部（电子） 归口单位：工业和信息化部（电子） 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：1996-08-01实施
