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标准号：GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度 英文标准名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials 标准状态：现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）N33 国际标准分类号（ICS）71.040.40 发布日期2006-03-27 实施日期 2006-11-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国微束分析标准化技术委员会 发布
