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标准号:GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
中文标准名称:真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 英文标准名称:Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)J78 国际标准分类号(ICS)23.160 发布日期2010-12-23 实施日期 2011-10-01 主管部门:中国机械工业联合会 归口单位:全国真空技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2011-10-01实施