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标准号:GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
中文标准名称:硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 英文标准名称:practice for shallow etch pit detection on silicon 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H80 国际标准分类号(ICS)29.045 发布日期2011-01-10 实施日期 2011-10-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2011-10-01实施