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标准号：GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
中文标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 英文标准名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）H17 国际标准分类号（ICS）77.040.99 发布日期2011-01-10 实施日期 2011-10-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2011-10-01实施
