条件筛选
-
标准号：GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 英文标准名称：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）L55 国际标准分类号（ICS）31.200 发布日期2011-01-10 实施日期 2011-10-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
