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标准号：GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
中文标准名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则 英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）L55 国际标准分类号（ICS）31.200 发布日期2012-05-11 实施日期 2012-12-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
