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标准号：GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范
中文标准名称：用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 英文标准名称：Specifications of metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）L90 国际标准分类号（ICS）31.030 发布日期2013-11-12 实施日期 2014-04-15 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
