-
标准号:GB/T 30116-2013 半导体生产设施电磁兼容性要求
中文标准名称:半导体生产设施电磁兼容性要求 英文标准名称:Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)L95 国际标准分类号(ICS) 发布日期2013-12-17 实施日期 2014-04-15 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注: