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标准号:GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
中文标准名称:蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 英文标准名称:Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates 标准状态:现行 在线预览 中国标准分类号(CCS)H21 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2014-07-24 实施日期 2015-04-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:2014年第19号公告