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标准号：GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
中文标准名称：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法 英文标准名称：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）J04 国际标准分类号（ICS）17.040.01 发布日期2014-09-30 实施日期 2015-04-15 主管部门：中国科学院 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：2014年第22号公告
