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标准号：GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
中文标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process 标准状态：现行 在线预览 中国标准分类号（CCS）L55 国际标准分类号（ICS）31.200 发布日期2016-08-29 实施日期 2017-03-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
