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  • 标准号:GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

    中文标准名称:半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 英文标准名称:Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS 标准状态:现行 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物,请联系中国标准出版社。 中国标准分类号(CCS)L55 国际标准分类号(ICS)31.080.99 发布日期2016-08-29 实施日期 2017-03-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注:

京公网安备 11011402011481号

京ICP备12047668号-1