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标准号：GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷
中文标准名称：电子工业用气体 六氟乙烷 英文标准名称：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane 标准状态：即将实施 在线预览 中国标准分类号（CCS）G86 国际标准分类号（ICS）71.100.20 发布日期2017-07-31 实施日期 2017-11-01 主管部门：国家标准化管理委员会 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注：
