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标准号:GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
中文标准名称:低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法 英文标准名称:Test method for measuring etch pit density (EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices 标准状态:即将实施 在线预览 中国标准分类号(CCS)H25 国际标准分类号(ICS)77.040 发布日期2017-10-14 实施日期 2018-07-01 主管部门:国家标准化管理委员会 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 备注: