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标准号：GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
中文标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件 英文标准名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment 标准状态：即将实施 该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。 中国标准分类号（CCS）J09 国际标准分类号（ICS）29.020 发布日期2017-10-14 实施日期 2018-05-01 主管部门：中国机械工业联合会 归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会 发布单位：中华人民共
