标准号：GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

中文标准名称：硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）L55

国际标准分类号（ICS）31.200

发布日期2012-05-11

实施日期 2012-12-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：