标准号：GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语

中文标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语

英文标准名称：Micro-electromechanical system technology - Terms

标准状态：现行

在线预览

中国标准分类号（CCS）L55

国际标准分类号（ICS）31.200

发布日期2011-01-10

实施日期 2011-10-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：