标准号：GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

中文标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

英文标准名称：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

标准状态：现行

在线预览

中国标准分类号（CCS）H17

国际标准分类号（ICS）77.040.99

发布日期2011-01-10

实施日期 2011-10-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2011-10-01实施