标准号：GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

中文标准名称：重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法

英文标准名称：Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance

标准状态：现行

在线预览

中国标准分类号（CCS）H80

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2011-01-10

实施日期 2011-10-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2011-10-01实施,代替GB/T 14847-1993