标准号：GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

中文标准名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

英文标准名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H80

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2011-01-10

实施日期 2011-10-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2011-10-01实施