本社概况
期刊导航
新闻中心
标准号:GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
英文标准名称:Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS)H80
国际标准分类号(ICS)29.045
发布日期2009-10-30
实施日期 2010-06-01
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注:2010-06-01实施