标准号：GB/T 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

中文标准名称：低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

英文标准名称：Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities

标准状态：现行

该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。

中国标准分类号（CCS）H80

国际标准分类号（ICS）29.045

发布日期2009-10-30

实施日期 2010-06-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2010-06-01实施