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标准号:GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
作者:国家标准全文公开系统
发布时间:2017-09-11
来源:
中文标准名称:半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
英文标准名称:Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
标准状态:现行
该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准,由于涉及版权保护问题,本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物,请联系中国标准出版社。
中国标准分类号(CCS)L85
国际标准分类号(ICS)17.040.30
发布日期2009-10-15
实施日期 2009-12-01
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
备注: