标准号：GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

中文标准名称：表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

英文标准名称：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）N33

国际标准分类号（ICS）71.040.40

发布日期2006-03-27

实施日期 2006-11-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2006-11-01实施