标准号：GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法

英文标准名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H17

国际标准分类号（ICS）77.040.01

发布日期2005-09-19

实施日期 2006-04-01

主管部门：中国有色金属工业协会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2006-04-01实施