标准号：GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

中文标准名称：砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

英文标准名称：The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H24

国际标准分类号（ICS）77.040.01

发布日期2000-04-03

实施日期 2000-09-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2000-09-01实施