标准号：GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范

中文标准名称：焦深与最佳聚焦的测量规范

英文标准名称：Specification for measuring depth of focus and best focus

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）L56

国际标准分类号（ICS）31.200

发布日期1999-09-13

实施日期 2000-06-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2000-06-01实施