标准号：GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

中文标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

英文标准名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

标准状态：现行

该推荐性标准采用了ISO、IEC等国际国外组织的标准，由于涉及版权保护问题，本系统暂不提供在线阅读服务。如需正式标准出版物，请联系中国标准出版社。

中国标准分类号（CCS）L56

国际标准分类号（ICS）31.200

发布日期1999-09-13

实施日期 2000-06-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：2000-06-01实施