标准号：GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

中文标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

英文标准名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）L97

国际标准分类号（ICS）31.020

发布日期1997-06-20

实施日期 1998-03-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：