标准号：GB/T 15873-1995 半导体设施接口技术文件编写导则

中文标准名称：半导体设施接口技术文件编写导则

英文标准名称：Directives for drafting semiconductor facilities interface specification

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）L97

国际标准分类号（ICS）31.220.10

发布日期1995-12-22

实施日期 1996-08-01

主管部门：工业和信息化部（电子）

归口单位：工业和信息化部（电子）

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：1996-08-01实施