标准号：GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

中文标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

英文标准名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H17

国际标准分类号（ICS）

发布日期1984-03-28

实施日期 1985-03-01

主管部门：中国有色金属工业协会

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：1985-03-01实施