标准号：GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷

中文标准名称：电子工业用气体 三氟甲烷

英文标准名称：Gas for electronic industry—Trifluoromethane

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）G86

国际标准分类号（ICS）71.100.20

发布日期2017-07-31

实施日期 2017-11-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：