标准号：GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

中文标准名称：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法

英文标准名称：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）H25

国际标准分类号（ICS）77.040

发布日期2017-09-29

实施日期 2018-04-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：