标准号：GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

中文标准名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

英文标准名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）G04

国际标准分类号（ICS）71.040.40

发布日期2017-09-29

实施日期 2018-08-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：