标准号：GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

中文标准名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

英文标准名称：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）H17

国际标准分类号（ICS）77.040

发布日期2017-10-14

实施日期 2018-05-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：