标准号：GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

中文标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

英文标准名称：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

标准状态：即将实施

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中国标准分类号（CCS）J09

国际标准分类号（ICS）29.020

发布日期2017-10-14

实施日期 2018-05-01

主管部门：中国机械工业联合会

归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：