标准号：GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

中文标准名称：半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

英文标准名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）L55

国际标准分类号（ICS）31.080.99

发布日期2016-08-29

实施日期 2017-03-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：