标准号：GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法

中文标准名称：碳化硅单晶片平整度测试方法

英文标准名称：Test methods for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

标准状态：现行

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中国标准分类号（CCS）H21

国际标准分类号（ICS）77.040

发布日期2015-12-10

实施日期 2017-01-01

主管部门：国家标准化管理委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

备注：